XP-780系列壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)X軸zui大220μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動。 特性 • 一維X向運(yùn)動，zui大行程220μm • zui大承載5kg • 通孔尺寸：25×25mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開/閉環(huán)可選 外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動示意圖 | 臺體采用放大機(jī)構(gòu)設(shè)計，運(yùn)動行程范圍大 | 
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大行程、高精度、大負(fù)載 | 出廠檢驗測試 | 頻率負(fù)載曲線 | XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實(shí)現(xiàn)zui大220μm的位移行程，無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實(shí)現(xiàn)納米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。 優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常高的剛度，承載能力大， 可帶載5kg的樣品作精密定位。 | 
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應(yīng)用 • 精密定位 • 光學(xué)顯微成像 • 細(xì)胞穿透 • SPM掃描顯微鏡 • 干涉 • 掩模/晶圓定位 • 計量 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析 1~3維掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格型號，可以自由疊加組合。 
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