P18.XYZ三維XYZ軸壓電掃描臺，內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，采用SGS傳感器閉環(huán)，實(shí)現(xiàn)精密高速定位運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，具有較高的重復(fù)定位精度和動(dòng)態(tài)定位性能。 特性 • 三維XYZ向運(yùn)動(dòng)，zui大行程280μm/軸 • zui大承載1kg • 通孔尺寸：Ø35mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 臺體采用放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，運(yùn)動(dòng)行程范圍大 | 
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大位移、大承載、高剛、高頻響 | 頻率負(fù)載曲線 | 應(yīng)用實(shí)例-納米光刻 | P18系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，P18.XYZ200可以實(shí)現(xiàn)zui大280μm的掃描范圍，運(yùn)動(dòng)直線性好，可選擇閉環(huán)版本獲得優(yōu)異的線性度與重復(fù)定位精度。 P18.XYZ200采用*的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大剛度、大出力、大承載等特點(diǎn)，zui大承載達(dá)1kg，XYZ軸空載諧振頻率分別可達(dá)300Hz、200Hz、120Hz，配套芯明天大功率控制器響應(yīng)時(shí)間zui高可達(dá)5ms，是精密加工、半導(dǎo)體制造、掃描顯微等應(yīng)用。 | 
| 在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻實(shí)驗(yàn)。 
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平穩(wěn)和精確的掃描圓形驅(qū)動(dòng) | 精準(zhǔn)圓形驅(qū)動(dòng)控制，可以通過精切定位XY平臺的每一軸，采用正弦波90°相差輸入，也可以通過PID修正位移進(jìn)行調(diào)整，根據(jù)頻率幅值以及負(fù)載使得驅(qū)動(dòng)控制平穩(wěn)精確。 | 
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應(yīng)用 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 精密定位 • 掃描顯微 • 干涉/計(jì)量 • 半導(dǎo)體測量 • 表面檢測 • 光學(xué)計(jì)量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析 P18全系列產(chǎn)品 P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。 
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| P18.X一維 280μm運(yùn)動(dòng)范圍 | P18.X一維 370μm運(yùn)動(dòng)范圍 | P18.X一維 740μm運(yùn)動(dòng)范圍 | P18.X一維 1.11mm運(yùn)動(dòng)范圍 | P18.XY二維 280μm/軸運(yùn)動(dòng)范圍 |
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| | | | P18.XY二維 370μm/軸運(yùn)動(dòng)范圍 | P18.XYZ三維 280μm/軸運(yùn)動(dòng)范圍 | |
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